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NS系列納米級臺階高度儀線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

SuperViewW白光干涉三維形貌輪廓儀納米級分辨率，非接觸式測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

中圖儀器CEM3000臺式掃描電子顯微鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。儀器操作簡便，樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

SuperViewW1白光干涉三維表面測量系統(tǒng)以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。它集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

CEM3000一鍵自動聚焦掃描電鏡空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非?？旖莸剡M行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

CEM3000高分辨率鎢燈絲掃描電鏡空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非?？旖莸剡M行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。CEM3000系列上還運用了快速抽放氣設計，讓用戶在使用時不再等待，且全系列可選配低真空系統(tǒng)，以便精準調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度，滿足不同樣品的觀測需求。